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PYTHON은 저온 폴리실리콘 어닐링을 위한 다이오드 펌프 고체 UV 레이저로, VYPER 엑시머 레이저의 펄스 에너지, 반복률 및 빔 특성을 발휘하는 동시에 탁월한 신뢰성을 제공하고 운영 비용을 50% 줄여줍니다.
PYTHON의 출력은 여러 레이저를 결합하여 확장되는 동시에, 독보적인 에너지 안정성, 최소한의 유지 보수 다운타임 및 고체 레이저 특유의 신뢰성을 발휘합니다.
제품 사양
모델
출력 파장(nm)
최대 반복률(Hz)
최대 펄스 에너지(mJ)
최대 출력(W)
총 에너지 안정성(σ, %)
PYTHON
355
600
2000
1200
≤ 0.25
TwinPYTHON
4000
2400
≤ 0.20
새로운 고체 레이저로 비용을 절감하고 폴리실리콘 어닐링 결과를 향상시킵니다.
LineBeam 엑시머 UV 레이저를 사용하면 최대 수율로 대형 기판 패널에서 저온 폴리실리콘(LTPS) 백플레인을 대량 생산할 수 있습니다.
수 kW급 출력을 제공하는 VYPER 엑시머 레이저 플랫폼은 디스플레이 대량 생산에 필요한 최고의 처리량을 지원합니다.
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