재료
금속 매트릭스 복합재료
높은 비강성과 높은 열안정성을 겸비한 소재를 통해 반도체 공정 장비의 열안정성을 향상시킵니다.
Coherent COGENTUM金属マトリックス技術は、半導体装置の性能を向上させ、高度な集積回路処理およびパッケージング技術の課題に対応する比類のない柔軟性を設計者に提供します。
COGENTUMの特性
2m×2mを超える大きさの構造物に鋳造できるさまざまな複合材料からお選びいただけます。
材料特性 |
CONGENTUM® 그린 |
CONGENTUM® Blue |
CONGENTUM® Gold |
密度 (g/cc) [ρ] |
2.78 |
2.80 |
2.96 |
포아송 비 |
0.29 |
0.29 |
0.25 |
ヤング率 - GPa [E] |
125 |
143 |
200 |
CTE平均20～100 ºC (ppm/K) [α] |
15 |
12 |
11 |
熱伝導率 (W/m-K) [k] |
160 |
164 |
160 |
비열(J/kg·K) |
820 |
800 |
730 |
極限引張強度 (MPa) |
370 |
320 |
340 |
破壊靱性 (MPa-m1/2) |
15 |
13 |
13 |
減衰率 (% ゼータ) |
0.26 |
0.26 |
0.58 |
비강성 (E/ρ) |
45 |
51 |
68 |
열안정성 (k/α) |
11 |
14 |
14 |
