레이저 기계 및 시스템

UV전사

UVtransferレーザシステムは、次世代microLEDディスプレイの製造における専用アプリケーションをサポートしています。

プロセス開発とパイロットライン用のUVtransfer 3-in-1システムは、非常に高い柔軟性でレーザリフトオフ（LLO）、レーザ誘起前方移動（LIFT）、ピクセル修復/トリミングを実行します。UVtransferシステムは、最高のスループットと歩留まりを備えた完全自動化されたLIFTツールで、microLEDディスプレイの生産を産業規模にまで高めています。UVtransfer Rシステムは、優れた高速かつ効率的な方法で除去および再充填加工を行うプロフェッショナルなターンキーソリューションです。

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UVtransfer - 概要

高性能システムは、比類のない精密を提供し、広いフィールドサイズを使用する高スループットのための高エネルギー248 nm UVレーザを搭載しています。

데이터 시트

主な特徴	メリット	UV転写 3 in 1システム - R&Dツールとテクノロジーイネーブラー	UV転写 - 大量生産LIFT ツール	UVtransfer R - 量産修理ツール
完全な自動化と24時間365日の使用	産業規模での大量生産	x	xxx	xxx
多機能	1回の投資で3つのプロセスを調査、最適化、検証	xxx
大きなフィールドのサイズとステージコンセプトの進化	高いスループットと優れたシステム効率	x	xxx	xxx
50μmから5μm までのあらゆるダイサイズに対応	将来を見据えた技術。	xxx	xxx	xxx
実績のあるエキシマレーザ光源	技術的なリスクを排除します。	xxx （COMpex 102）	xxx （LEAP 300）	xxx （IndyStar 1Hz）
深紫外線	ほぼすべての材料に対応。	xxx	xxx	xxx
Fab統合	工場ネットワークを介した完全なシステム制御、業界 4.0 対応		xxx	xxx
統合診断	高度な加工安定性と信頼性	x	xxx	xxx