엑시머 레이저 박막 펄스 레이저 증착 파일럿 및 대량 펄스 레이저 증착

과제

박막 증착 기술은 MEMS, 반도체, 태양광, OLED 디스플레이, 5G 통신용 RF 필터 등 다양한 분야에 적용되고 있습니다. 점점 더 까다로워지는 물성을 지닌 새로운 복합 소재 시스템의 등장으로, 박막 증착 기술은 지속적인 확장 및 품질 개선이 요구되며, 더 광범위한 박막 공정을 지원함과 동시에 공정 최적화에 있어 유연성을 확보해야 합니다. 네덜란드 엔스헤데에 위치한 펄스 레이저 증착 PLD) 전문 기업인 Solmates는 진화하는 박막 산업을 위해 견고하고 사용하기 쉬운 증착 장비를 개발하기 시작했습니다.

해결책

솔메이트(Solmates) 팀은 엑시머 레이저 이용하여 전도성 및 비전도성 기판 화학양론 복잡한 화학양론 물질을 증착하는 물리적 기상 증착(PLD) 방식을 사용합니다. 이 회사의 PLD 시스템은 증착 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있어, 조성, 결정성, 밀도, 기공률, 박막 응력 등 최종 박막의 특성을 정밀하게 설계할 수 있습니다. 박막 제조업체들은 다른 증착 기술로는 달성할 수 없는 전기적 및 광학적 박막 특성을 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 새로운 소재 시스템과 응용 분야로까지 진출할 수 있습니다. Solmates는 PLD 시스템의 처리량을 결정하는 높은 에너지(펄스당 최대 1줄)와 확장 가능한 출력(80~300W)을 겸비한 Coherent LEAP 엑시머 레이저 선택했습니다. 또한 LEAP 까다로운 대량 생산 환경에서 24시간 연중무휴의 산업용 신뢰성과 웨이퍼당 비용 최소화를 입증한 확고한 실적을 보유하고 있습니다.

결과

오늘날 Solmates의 PLD 플랫폼은 모든 표준 클러스터 프레임에 통합되어 파일럿 규모는 물론 대량 생산까지 지원할 수 있습니다. 최대 300mm 산업용 웨이퍼 크기에 적용 가능한 고품질 PLD 공정의 등장으로, 산업 고객들은 박막 증착 역량을 확대하고 약 30여 종의 새로운 소재 및 소재 시스템을 증착 포트폴리오에 추가할 수 있게 되었습니다.

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