레이저 머신 및 시스템
UV전사
UVtransfer 레이저 시스템은 차세대 microLED 디스플레이 생산에 대한 전용 응용 분야를 지원합니다.
공정 개발 및 파일럿 라인 사용을 위한 UVtransfer 3-in-1 시스템은 매우 높은 유연성을 바탕으로 LLO(레이저 리프트 오프), LIFT(레이저 유도 전방 이송) 및 픽셀 수리/트리밍을 수행합니다. UVtransfer 시스템은 마이크로LED 디스플레이의 생산을 산업 규모로 확대할 수 있도록 처리량과 수율을 극대화하는 완전 자동화된 LIFT 장비입니다. UVtransfer R 시스템은 제거 및 리필 공정을 빠르고 효율적으로 수행하는 전문 턴키 솔루션입니다.
UV전사 - 개요
이 고성능 시스템은 뛰어난 정밀도를 제공하며, 넓은 조사 영역을 갖춘 고출력 248nm UV 레이저로 구동됩니다.
| 주요 기능 | 혜택 | UV 전달 3-in-1 시스템 - R&D 도구 및 기술 지원 |
UV 전달 - 양산 리프트 도구 |
UV 전달 R - 양산 수리 도구 |
완전 자동화 및 연중무휴 운영 |
산업 규모의 대량 생산 |
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다기능성 |
단일 투자로 세 가지 프로세스를 분석, 최적화 및 검증 |
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대규모 필드 규모 및 단계 개념 개선 |
높은 처리량과 뛰어난 시스템 효율성 |
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50μm에서 5μm까지 모든 다이 크기를 지원합니다 |
미래 지향적인 기술. |
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검증된 엑시머 레이저 소스 |
기술적 위험을 제거합니다. |
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심층 자외선 |
거의 모든 재료와 호환됩니다. |
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Fab 통합 |
공장 네트워크를 통한 완벽한 시스템 제어, 인더스트리 4.0 지원 |
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통합 진단 |
높은 수준의 공정 안정성 및 신뢰성 |
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