반도체 제조

최첨단 광학, 레이저 및 복합 소재를 활용하여 처리량과 수율을 극대화하는 장비를 구축하십시오.

  • 열적 특성이 뛰어난 소재를 활용하여 극도의 안정성을 갖춘 리소그래피 및 웨이퍼 취급 장비를 제작합니다.
  • 수율 향상: 거의 모든 검사 작업을 수행할 수 있는 다양한 레이저 제품군 중에서 선택하세요.
  • 신뢰할 수 있는 EUV 리소그래피: 최고 품질의 CO₂ 레이저 광학 장치 다이아몬드 윈도우를 통해 신뢰성과 긴 수명을 보장합니다.
FEOL 포토리소그래피
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모든 노드에서의 성능

최첨단 3nm 칩부터 검증된 100nm+ 공정까지, Coherent , 광학 부품 및 첨단 복합 소재를 활용해 일관되고 비용 효율적이며 신뢰할 수 있는 작동을 보장하는 장비를 구축하십시오. 하이브리드 세라믹 및 실리콘 카바이드를 포함한 당사의 혁신적인 소재는 EUV 리소그래피의 극한 요구 사항을 충족하는 기계 부품을 생산하며, 당사의 레이저 광학 장치 다이아몬드 윈도우 역시 마찬가지입니다. 또한, 당사의 포괄적인 레이저 제품군은 거의 모든 검사 작업을 지원할 뿐만 아니라 마킹 및 어닐링과 같은 다양한 소재 가공 작업을 수행할 수 있습니다.

시작해 봅시다

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제품 적용 분야

Semiconductor Wafer Manufacturing Products